黑龙江xrd薄膜检测-半导体xrd检测机构

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    2023-2-27

王小姐
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如果我想要从這个 powder diffraction profile 来解出其结晶结构,包括其各个晶格参数以及其是什么的晶型 tetragonalor orthorhombic 等等那我该如何是好呢?

如果你只想知道这个新物相的晶格参数和晶系,用你的粉末衍射数据去指标化就可以了。指标化就是确定每个衍射峰的衍射指标,当然这个过程同时就给出了晶系。

有没有一个程式是可以输入 a b c 三轴的值以及三轴之间的三个夾角然后就可以自动画出这样的晶型可能产生的 powder diffraction profile 呢?

有这样的程序可以输入晶格参数和空间群就可以理论计算出衍射峰的位置。可以用的软体 很多,chekcell这个免费的软体就可以解决您的问题。如果需要理论计算衍射强度,你还需要给出原子坐标参数。

原子各向同性(---)温度因子对结构影响大吗?

温度因子就是反映原子在平衡位置附近振动情况的一个因子,主要是对强度有影响,那当然就对结构有影响了。



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假如我使用几种强度的表示方法来计算含量呢?

通过x射线衍射分析软件的“寻峰”功能。我们能得到衍射峰的峰高和峰面积,你不妨试试分别通过峰高和峰面积来计算物相的含量,然后再作个平均,也许会比单纯地使用峰高或峰面积来计算结果一些。你会做峰形拟合吗?

x射线衍射峰的线形总是一种“钟罩”形函数,xrd薄膜检测,或者说可以使用一种钟罩形函数来拟合。你可以选择不同的峰形函数来做峰的拟合,看看哪个的误差小,说明衍射峰能使用这种函数来拟合。拟合完成后,拟合函数的高度、宽度和面积就会列表出来。

这时,你又得到一组强度数据,分别用高度和面积计算物相含量,会得到怎样的结果呢?当然也可以加入到前面的两种结果中,作一个4个结果的平均。这只是我的建议,xrd薄膜检测哪里可以做,并非一定要这么做。当衍射峰没有重叠,没有宽化,没有变形时,4种结果没有多少差别。只有当存在这些因素时,才会出现差别。如果峰形重叠,使用拟合能将重叠峰分离开来,以消除其它物相附加的强度,单纯的寻峰是不能做到这一点的。但是,拟合时要---注意背景线的取舍,拟合得不好可能会产生很大的误差。拟合峰数据用来计算一些粘土矿物的含量时,显得尤为有意义。因为这些物相的峰形往往不对称,矮而宽,底部拖得---宽,而且多有重叠。单纯的寻峰数据使物相含量的计算结果偏小。不过,用拟合数据计算出来的又往往偏高。两者中和一下,也许与真实的结果差不离了。




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xrdi技术说明。

无缺陷的晶体产生的x射线衍射信号的强度是均匀一致分布的,而晶体的缺陷会导致晶体的形变以及衍射强度的变化。衍射强度的变化表现为灰度的差异。这类差异的成因包括晶体结构的差异、取向(倾斜)变化、或者由于高应变场梯度导致的消光差异等

在半导体的制程中,黑龙江xrd薄膜检测,晶圆内部产生的边缘微裂纹可能会导致晶圆的损坏。虽然晶圆内一些单独存在且尺寸微小的缺陷不造成直接的晶圆性能问题,但是在某些制程中,比如快速退火(rta等)、化学机械加工(cmp)、晶圆装卸移动中等,边缘处存在内部损伤的晶圆发生灾难性的概率大幅增加,并导致生产设备的污染。也有研究表明,在一定条件的热处理时,晶圆边缘会产生滑移带,并向内延伸至晶圆的区域。这类缺陷也会造成后续光刻工艺位移、芯片性能下降、良率下降、---时导致晶圆等后果。


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