半导体薄膜测试机构-xrd物相分析检测测试

xrd物相分析检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

薄膜应力作为半导体制程、mems微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，其测试的精度、重复性、效率等因素为业界所重点关注。对应产品目前业界有两种主流技术流派：1）以美国fsm、kla、toho为代表的双激光波长扫描技术（线扫模式），尽管是上世纪90年代技术，但由于其简单，适合常规fab制程中进行快速qc，至今仍广泛应用于相关工厂。2）以美国ksa为代表的mos激光点阵技术，抗环境振动干扰，精于局部区域内应力测量，这在研究局部薄膜应力均匀分布具有特定意义。线扫模式主要测量晶圆薄膜整体平均应力，xrd物相分析检测测试，监控工序工艺的重复性有意义。但在监控或精细分析局部薄膜应力，激光点阵技术具有特殊优势，比如在mems压电薄膜的应力和缺陷监控。

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反复地分析。

jade或者其它相似的软件都存在一个问题，也许不是它本身的问题。也许某次检索出来的卡片与下一次检索出来的卡片会有不同，也许不同的时候你考虑的方面不同而使你选择了不同的卡片。因此，反复地分析一个样品，你会得出不同的结论。经过多次反复地检索，在多个结论中再作取舍，也许就是真实的结果了。说起来，好象没个完，还有一些东西也是可以用上的，比如颜色。如果检索出来的某个物相的颜色同实际样品的颜色相去甚远，则肯定不是准确的结果。

限于时间，不想耽误大家更多的时间，就说这么些。说到这里，还想说上一句。假如，你有什么样品的衍射谱希望论坛里的同行帮你分析一下，你好告诉一下：

1 样品中可能存在的元素

2 样品中可能存在的物相

你也应当理解：

1 不是你的同行，分析出来的结果当然有可能不对；

2 因为你给的已知条件太少，海南xrd物相分析检测，因此，人家分析不出准确的结果；

3 因为物相的含量低于xrd检出的下限，因此，你希望找出来的那个物相偏偏就是看不到。