半导体xrd测试机构-xrd薄膜检测费用多少

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    2023-3-27

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尽管spike退火没有明显的滑移带, 高分辨率的x射线衍射成像图形结果中显示晶圆的边缘也出现了像钻石光源一样形状的成核位置。如图3所示,这些位置大多数处于晶圆边缘。在某些情况下,有非常明显的局部应变,;而另外一些情况下,没有明显的应变区域,。这种成核于晶圆边缘并向内延伸的位错类型呈半环形,沿着倾斜的{111}滑移面,xrd薄膜检测费用多少,依着平行于(100)晶圆表面的四个<011>; 方向,向内部滑移。它们不均匀的分布在晶圆边缘。

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已经知道晶体的晶格常数、晶系以及各衍射峰的 hkl 值,请问如何确定其空间群,有没有相应的软件?

有了这些就可以用shelx来解晶体了,空间群自然也就能确定了。可以用国际晶体学手册, 利用你的已知数据便可查的。未知物质的空间群是根据统计消光规律来得到的,终的结果还要用结构测定的结果来确定,统计消光规律来推测空间群的软件有 xprep,wingx 等。

具体可以如下操作:衍射数据当作p1空间群处理然后利用pattern 程序生成 psudo-precession然后根据系统消光规律推导出晶体的劳埃对称性。不是所有的时候都可以直接给出终的空间群。好在解完结构之后,利用结构解析程序产生的fcf文件再重新核对一遍。




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影响k值的因素有什么?

除了定义上的因素外,还有这么一些问题是要考虑的:

首先,晶粒大小的影响。比如,你在做的是纳米晶粒样品,也套用这个k值,误差会很大。我曾试过一个物相不同晶粒的k值,结果相差有多大,---无法相象,真的差了10倍!这个10倍是要直接用于公式里的分母的。结果会怎么样呢?

其次,化学成份的影响。很多物相都不能算做纯物相,比如某种合金的固溶体,某种蒙脱石。虽然,他们的晶体结构大体上还是没有变化,但它的k值却变了。据分析,不同成分的固溶体,xrd薄膜检测机构,比如al中可以溶解一些其它元素如zn,mg等,不同固溶度下的al固溶体的k值肯定是不同的。对于合成样品,化学成分的微小差别也会影响k值。不同地域的蒙脱石,其k值可以相差很大。

再次,颗粒度。这里不是说晶粒度,而是说粉末的粒度。也是影响因素之一。

影响k值的还有晶体的结构,原子的占位与掺杂。



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