宁夏回族自治algan材料xrd检测-半导体xrd薄膜测试

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尽管spike退火没有明显的滑移带， 高分辨率的x射线衍射成像图形结果中显示晶圆的边缘也出现了像钻石光源一样形状的成核位置。如图3所示，这些位置大多数处于晶圆边缘。在某些情况下，algan材料xrd检测服务，有非常明显的局部应变，；而另外一些情况下，没有明显的应变区域，。这种成核于晶圆边缘并向内延伸的位错类型呈半环形，沿着倾斜的{111}滑移面，依着平行于（100）晶圆表面的四个<011>; 方向，向内部滑移。它们不均匀的分布在晶圆边缘。

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衍射峰的强度好像和仪器有很大的关系，因为以前用 rigaku 的 dmax，每次都是几千，但现在用 bruker 或者 philips，好像每次都在一千以下，不知道是什么问题。粉末的结晶肯定是好的。

与发生器的功率有关。你曾使用的 rigaku 的 dmax 是高功率的转靶衍射仪吧？强度也和衍射仪的扫描半径有关。

用国产仪器测的 xrd 数据能不能用于 retrieve 精修?

国产衍射仪的基本技术指标（测角准确度、重现性、分辨率，衍射强度稳定性、长期工作 稳定性等指标）与进口衍射仪并无水平级的差异。配有石墨弯晶单色器的国产衍射仪，正确选择狭缝、采数步宽和步进计数时间（---峰强度），同样能够获得能够用于retrieve精修的衍射数据。

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