xrd摇摆曲线检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
1、简介
x射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末xrd表征,存在一定的---和薄膜的特性。例如,当薄膜具有---的择优取向时,只有特定晶面的衍射能被观察到,这也是为什么薄膜的测试表征比普通粉末表征难的原因。本文将综述x射线衍射技术用于薄膜的测试。
2、为什么薄膜材料要使用x射线来表征?
2.1、x射线分析的特点
随着---薄膜材料制备技术的发展,用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得复杂和多样化。这其中x射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。
利用x射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面,x射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比,x射线衍射方法有以下特点:
l 非破坏性的,并且无需---的制样方法。
l 能够在特殊环境和常规环境下进行测试,xrd摇摆曲线检测机构,例如高温高压下测试。
l 能够获得材料的平均结构信息,测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。
l 对有机材料的破坏性也较低。
l 通过控制x射线的角度能够改变分析的材料的---。
l 可以表征埋层材料的界面结构。
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xrd衍射谱图上的衍射峰对应的晶面该怎么看
xrd 衍射峰一般用角度值表示,该值和微观上晶体的晶面间距是对应的,xrd摇摆曲线检测哪里可以做,一个晶面间距对应一个特定的角度。当测试多晶,陶瓷时,因为存在晶格异常,偏大或偏小,会使衍射峰变宽。材料结晶越好,峰越窄,反之越宽。
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小角x射线衍射在纳米多层膜材料中,内蒙古自治xrd摇摆曲线检测,两薄膜层材料反复重叠,形成调制界面。当x射线入射时,周期---的调制界面会与平行薄膜表面的晶面一样,在满足bragg条件时,产生相干衔射,形成明锐的衍射峰。
由于多层膜的调制周期比金属和化合物的晶面间距大得多,所以只有小周期多层膜调制界面产生的xrd衍射峰可以再小角度衍射时观察到,而大周期多层膜调制界面xrd衍射峰则因其衍射角度更小而无法进行观测。
因此,对制备---的小周期纳米多层膜可以用小角度xrd方法测定其调幅周期。
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