半导体研究所-山西xrd掠入射(gixrd)检测

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xrd掠入射（gixrd）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，山西xrd掠入射（gixrd）检测，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

薄膜材料就是厚度介于一个纳米到几个微米之间的单层或者多层材料。由于厚度比较薄，薄膜材通常依附于一定的衬底材料之上。常规xrd测试，x射线的穿透---一般在几个微米到几十个微米，这远远大于薄膜的厚度，导致薄膜的信号会受到衬底的影响。

另外，随着衍射角度的增加，xrd掠入射（gixrd）检测，x射线在样品上的照射面积逐渐减小，x射线只能辐射到部分样品，无法利用整个样品的体积，衍射信号弱。薄膜掠入射衍射（gid：grazing incidence x-raydiffffraction）---地解决了以上问题。所谓掠入射是指使x射线以非常小的入射角（＜5°）照射到薄膜上，小的入射角---减小了在薄膜中的穿透--- 。同时低入射角---增加了x射线在样品上的照射面积，增加了样品参与衍射的体积。这里有两点说明：gid需要的硬件配置；常规gid只适合多晶薄膜和非晶薄膜，不适合单晶外延膜。