xrd倒易空间（rsm）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律，参与衍射的晶面，其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上，如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角，通常用ψ表示。
依据布拉格定律，可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0，便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
s1，s2与s3为试样表面坐标轴，xrd倒易空间（rsm）检测报告，s1由研究人员定义。图3为x射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律，这些晶面的应变是由o点的应力张量决定的，并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此，xrd倒易空间（rsm）检测平台，有可能依据这些的关系求得o点的三维应力，包括应力σφ。由弹性力学可以导出op方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说，x射线穿透---只有几微米至几十微米，因此通常假定σ33=0。欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~xrd倒易空间（rsm）检测
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xrd进行定性分析时可以得到哪些有用信息？
x射线反射率（xrr：x-ray reflectivity）是一种表面表征技术，是利用x射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析xrr图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
xrr的特点：
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求，不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 xrr适用于纳米薄膜，xrd倒易空间（rsm）检测分析，要求厚度小于500nm
4 晶面膜，表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
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xrd即x-raydiffraction的缩写，x射线衍射，通过对材料进行x射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。x射 线是一种波长很短(约为20～0.06埃)的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、*体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的x射线中，包含与靶 中各种元素对应的具有特定波长的x射线，称为特征（或标识）x射线。
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