半导体xrd研究所-内蒙古自治xrd掠入射(gixrd)检测

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    2023-4-16

王小姐
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椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种---吸引力的测量仪器。

目前,椭偏仪是测量透明、半透明薄膜厚度的主流方法,它采用偏振光源发射激光,当光在样本中发生反射时,会产生椭圆的偏振。椭偏仪通过测量反射得到的椭圆偏振,并结合已知的输入值计算出薄膜的厚度,是一种非破坏性、非接触的光学薄膜厚度测试技术。在晶圆加工中的注入、刻蚀和平坦化等一些需要实时测试的加工步骤内,椭偏仪可以直接被集成到工艺设备上,以此确定工艺中膜厚的加工终点。





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(1)样品中的每一个物相都是晶体相(不含有非晶)

(2)样品中的每一个物相的k值都是已知的

(3)通过一个计算公式,一次图谱扫描,就能计算出样品中的每个物相的含量。这个公式就是: wx=ix/[kx(i1/k1+i2/k2+……in/kn)]。这里假定一个样品中存在n个相,其中任一相x的含量wx与x相的衍射强度成正比(分子),与它的k值成反比。分母还有另一个组成部分,内蒙古自治xrd掠入射(gixrd)检测,就是所有相的衍射强度除以自己的k值。不知道你看懂了没有, 从这个公式你看出什么来了?要计算一个物相的含量(分数)。



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xrd图谱的峰位.峰宽,峰高,分别代表什么,假如知道待测物质,如何观察,和需要看些什么。

峰位:如果不知道待测物质是什么,通过峰位可以算出晶格常数,从而确定物质.如果已经知道了物质,算出的晶格常数应该跟你知道的物质的晶格常数差不多,差量可能是内应力引起的.可以据此分析内应力.

峰宽:如果是单晶,那就代表了结晶的好坏,xrd掠入射(gixrd)检测费用多少,多晶的话还跟晶粒的大小有关.

峰高:一般各峰的相对高度比较有参考价值,反映的是晶体取向度和织构的信息.

当然峰位、峰高和峰宽是要综合起来看的,而且跟多相,单相,有没有杂质,单晶还是多晶都有关系。





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