半导体薄膜测试机构-广西壮族自治algan材料xrd检测

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    2023-4-19

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喷丸强化中的xrd残余应力检测

冷加工引起的塑性变形会导致#残余应力检测#残余应力的产生。残余应力的程度和性质(拉应力或压应力)取决于加工过程的程度和类型。

喷丸强化是一种冷加工工艺,在该工艺中,零件表面用称为喷丸的小球进行喷丸处理。该过程会在零件表面引起塑性变形,减少零件表面拉应力并引入有益的残余压应力。喷丸强化是类似于表面滚压的过程,两者都是表面塑性变形以形成残余压应力的---分布。

在零件表面引入残余压应力可提高对疲劳失效和应力腐蚀开裂 (scc) 的抵抗力,从而延长零件的使用寿命。

对钢、铝合金、钛合金、镍基合金和一些陶瓷来说很容易进行喷丸强化处理。而对于需要高循环疲劳和强度的零件,如弹簧、齿轮、凸轮轴、曲轴和涡轮叶片来说,喷丸强化是生产中关键的一步。

喷丸强化过程中的应力形成

典型的喷丸强化表面应力---分布。在这个例子中,超过400 mpa 的残余压应力会在组件的次表面产生,广西壮族自治algan材料xrd检测,在---上应力方向和应力值的变化可通过 x 射线衍射法来确认。



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x射线衍射技术(xrd)在建筑材料检测中的应用

样品要求x射线衍射技术适用于多种类型产品的检测,送检样品可为粉末状、块状、薄膜、镀膜及其它形状。样品种类不同,具体要求也有所区别:

粉末样品需要量约为2g以上(视其密度和衍射能力而定),送检粉末样品需预先干燥并研磨至大于200目;

块状和薄膜样品要求宽度不小于1.5cm、厚度不大于0.5cm近似平面试样;

对于测量金属样品的微观应力(晶格畸变),测量残余奥氏体,要求制备成金相样品,并进行普通抛光或电解抛光,消除表面应变层;

若样品在空气中不稳定,会吸湿、风化、分解,则需采取保护隔离措施,若试样、、有毒,则应采取相应的防护措施。

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正如上面提到的,我们利用x射线衍射可以获得大量的关于薄膜的信息。在平常的测试中,我们获得的粉末衍射信号来自于平行于宏观平面的晶面信息。当我们测试薄膜时,必须要注意晶面的取向情况,这时候需要调整x射线在样品的入射和反射的方向。

在通常的测试中一般是对称反射光路测试,但在有---取向的薄膜例如外延生长的薄膜时候,algan材料xrd检测哪里可以做,对称衍射并不合适。这时候我们就需要调整样品表面的倾斜来获得需要测试的晶面,我们称为非对称衍射。

有一种更为特殊的情况,当我们的晶面垂直于样品宏观平面生长时,也叫面内衍射,这些年随着测试技术的发展和仪器的精度越来越高,我们也可以实现对垂直于平面晶面进行表征。面内表征对于薄膜宽度方向的探究是非常重要的。



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