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薄膜厚度和界面结构的测定随着纳米材料的高速发展，纳米薄膜的研究也变得越来越重要。利用xrd研究薄膜的厚度以及界面结构也是xrd发展的一个重要方向。通过二维xrd衍射还可以获得物相的纵向---剖析结果，也可以获得界面物相分布结果。物质状态的鉴别不同的物质状态对x射线的衍射作用是不同的，因此可以利用x射线谱来区别晶态和非晶态。一般非晶态物质的xrd谱为一条直线，平时所遇到的在低2θ角出现的漫散型峰的xrd一般是由液体型固体和气体型固体所构成。
晶体物质又可以分为微晶和晶态，xrd小角度检测实验室，微晶具有晶体的特征，但由于晶粒小会产生衍射峰的宽化弥散，而结晶好的晶态物质会产生尖锐的衍射峰。
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采用x射线衍射法测定残余应力，早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出，xrd小角度检测费用多少，把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法，使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展，台湾xrd小角度检测，开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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x射线衍射技术（xrd）在建筑材料检测中的应用
样品要求x射线衍射技术适用于多种类型产品的检测，送检样品可为粉末状、块状、薄膜、镀膜及其它形状。样品种类不同，具体要求也有所区别：
粉末样品需要量约为2g以上（视其密度和衍射能力而定），送检粉末样品需预先干燥并研磨至大于200目；
块状和薄膜样品要求宽度不小于1.5cm、厚度不大于0.5cm近似平面试样；
对于测量金属样品的微观应力（晶格畸变），测量残余奥氏体，要求制备成金相样品，并进行普通抛光或电解抛光，消除表面应变层；
若样品在空气中不稳定，会吸湿、风化、分解，则需采取保护隔离措施，若试样、、有毒，则应采取相应的防护措施。
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