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关于x射线衍射分析（xrd）定义：x射线衍射分析（x-ray diffraction，简称xrd），是利用晶体形成的x射线衍射，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。分析原理当一束x射线入射到晶体时，首先被原子（电子）所散射，每个原子都是一个新的辐射源，向空间辐射出与入射波同频率的电磁波。由于晶体是由原子、分子或离子按一定规律排列成的晶面组成，xrd掠入射（gixrd）检测费用多少，这些按周期平行排列的晶面的间距与入射x射线波长有相同的数量级，故由不同晶面散射的x射线相互干涉，并在符合布拉格方程的空间方向上产生强x射线衍射。布拉格方程2dsinθ=nλ，n=1，2…
其中：d为晶面间距，θ为入射x射线与相应晶面的夹角，xrd掠入射（gixrd）检测报告，λ为x射线的波长，n为衍射级数，其含义是：只有照射到相邻两晶面的光程差是x射线波长的n倍时才产生衍射。
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什么是残余应力?
●内应力：没有外力或外力矩作用而在物体内部存在并自身保持平衡的应力
●国技文献习惯将类内应力称为残余应力
●一般英、美文献中把类内应力称为“宏观应力”(macrostress)
●把第二类和第三类内应力合称为“微观应力”(microstress)
●残余应力可以认为是类内应力的工程名称
●通常所说的“热处理应力”，“焊接应力”，“铸造应力”等则是实施这些工艺的过程中产生并终残留的残余应力（即类内应力）的简称
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薄膜厚度和界面结构的测定随着纳米材料的高速发展，纳米薄膜的研究也变得越来越重要。利用xrd研究薄膜的厚度以及界面结构也是xrd发展的一个重要方向。通过二维xrd衍射还可以获得物相的纵向---剖析结果，也可以获得界面物相分布结果。物质状态的鉴别不同的物质状态对x射线的衍射作用是不同的，因此可以利用x射线谱来区别晶态和非晶态。一般非晶态物质的xrd谱为一条直线，平时所遇到的在低2θ角出现的漫散型峰的xrd一般是由液体型固体和气体型固体所构成。
晶体物质又可以分为微晶和晶态，微晶具有晶体的特征，但由于晶粒小会产生衍射峰的宽化弥散，而结晶好的晶态物质会产生尖锐的衍射峰。
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