xrd倒易空间（rsm）检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
xrd小角度测试x 射线散射效益来自于物质内部1～100nm 量级范围内电子密度的起伏。对于完全均匀的物质，其散射强度为零。
当出现第二相或不均匀区时才会发生散射，且散射角度随着散射体尺寸的增大而减小。
xrd小角度测试x射线散射强度受粒子尺寸、形状、分散情况、取向及电子密度分布等的影响。
对于稀疏分散、随机取向、大小和形状一致，且每个粒子内部具有均匀电子密度的粒子组成体系， 对于不规则形状的粒子体系，其散射强度不同，表现为散射函数不同。
同样，具有一致取向的粒子构成的稀疏粒子体系与无取向的粒子体系的散射强度也不同。
xrd小角度测试x射线散射可测尺寸分布，xrd倒易空间（rsm）检测服务，回旋半径，相关距离，平均壁厚，分形维度，以及分数等，xrd倒易空间（rsm）检测平台，可提供变温(室温~230°c)，原位拉伸散射测试。
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晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律，参与衍射的晶面，其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上，如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角，甘肃xrd倒易空间（rsm）检测，通常用ψ表示。
依据布拉格定律，可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0，便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
s1，s2与s3为试样表面坐标轴，s1由研究人员定义。图3为x射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律，这些晶面的应变是由o点的应力张量决定的，并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此，有可能依据这些的关系求得o点的三维应力，包括应力σφ。由弹性力学可以导出op方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说，x射线穿透---只有几微米至几十微米，因此通常假定σ33=0。欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~xrd倒易空间（rsm）检测
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xrd进行定性分析时可以得到哪些有用信息？
x射线反射率（xrr：x-ray reflectivity）是一种表面表征技术，是利用x射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析xrr图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
xrr的特点：
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求，不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 xrr适用于纳米薄膜，要求厚度小于500nm
4 晶面膜，表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
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