xrd小角度检测平台-半导体薄膜测试机构

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    2023-5-12

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sin2ψ法公式是基于布拉格定律和弹性理论推导出来的,弹性理论所涉及的对象被假定为均匀、连续、各向同性的介质。对于多晶金属材料来说,只有晶粒细小,没有织构,才近似满足这样的假定。

因为,xrd小角度检测报告,衍射用的x射线对被测材料的穿透能力极低,大多在几微米或十几微米的---。因此,可以认为垂直于材料表面方向的应力分量均为零。只有在特殊加工(如强力的、大切削量的磨削)的条件下,致使主应力平面偏离试样表面,才可能出现τ13≠0,τ23≠0的情况。通常出现±ψ分叉情况,拟合曲线往往不具备椭圆属性,其实质应该是测角仪±ψ机构的系统误差造成的,因此无需过分强调椭圆拟合的---性。

综上所述,x射线衍射残余应力测定的实际可操作过程就是选择若干ψ角(或若干对±ψ 角)分别测定衍射角2θφψ,然后进行计算。关于如何安排ψ平面和2θ平面的空间几何关系、如何获取衍射曲线、如何进行计算等方面,学者们研究出了许多方法。



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轮廓仪是一种两坐标测量仪器,xrd小角度检测平台,仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行,传感器的触针感受到被测表而的几何变化,在x和z方向分别采样,福建xrd小角度检测,并转换成电信号,该电信号经放大和处理,再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中,计算机对原始表而轮廓进行数字滤波,分离掉表而粗糙度成分后再进行计算,测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标,或放大的实际轮廓曲线,测量结果通过显示器输出,也可由打印机输出。

而利用---的3d轮廓仪可以实现对硅晶圆的粗糙度检测、晶圆ic的轮廓检测、晶圆ic减薄后的粗糙度检测。


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x射线衍射技术(xrd)在建筑材料检测中的应用

应用实例采用x射线衍射分析时,扫描速度是一个很重要的试验参数,要根据不同建材产品的特征选择合适的扫描速度。如果扫描速度太快,会使衍射线强度下降,线形发生畸变,导致峰位偏移,分辨率下降;如果扫描速度太慢,又太浪费时间。

试验前,应事先准备好x射线衍射仪等设备,并选择合适的扫描范围、扫描电压和电流等条件。

由于不同物质其衍射图谱在衍射峰数目、角度位置、相对强度次序以至衍射峰的形状均会有所不同,将衍射图谱与标准pdf卡片进行比对,通过样品的x射线衍射图谱与已知的晶态物质的x射线衍射图谱的对比分析便可以完成样品物相组成和结构的定性鉴定;通过对样品衍射强度数据的分析计算,可以完成样品物相组成的定量分析。

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