xrd晶粒尺寸检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
布拉格定律
当一束具有一定波长λ的x射线照射到多晶体上时,会在一定的衍射角2θ上接收到反射的x射线强度---值(即衍射峰),这便是x射线衍射现象,如图1所示。x射线波长λ、衍射晶面间距d和布拉格角θ之间满足公式(1)。在x射线衍射残余应力分析中,上海xrd晶粒尺寸检测,选用合适靶材的x射线管,即选定合适的波长λ,通过衍射装置测定衍射角2θ,就可以计算出相应晶面的晶面间距d。
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实验条件
●限定照射面积
?通过狭缝、准直管来---入射光束或通过遮挡的方法来---照射面积
●测点位置设定
?对于一个实际试样,应根据应力分析的要求,结合试样的加工工艺、几何形状、工作状态等综合考虑,xrd晶粒尺寸检测多少钱,确定测点的分布和待测应力的方向。
?校准试样位置和方向的原则为:
(a)测点位置应落在测角仪的回转中心上;
(b)待测应力方向应处于平面以内;
(c)测角仪ψ=0°位置的入射光与衍射光之中线应与待测点表面垂直。
●在常规x射线衍射分析中,选择正确的测试参数,目的是获得完整且光滑的衍射谱线。
●x射线应力测试,除满---上要求外,还必须考虑诸如角设置、辐射波长、衍射晶面以及应力常数等因素的影响。
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如何看懂xrd图谱
xrd图谱峰的面积表示晶体含量,面积越大,晶相含量越高。峰窄说明晶粒大,可以用谢乐公式算晶粒尺寸。xrd图谱峰高如果是相对背地强度高,表示晶相含量高,跟面积表示晶相含量一致。
xrd图谱峰高如果是a峰相对b峰高很多,两峰的高度比“a/c”相对标准粉末衍射图对应峰的高度比要大很多,那么这个材料是a方向择优取向的热重曲线热重分析得到的是程序控制温度下物质与温度关系的曲线。
即热重曲线(tg)曲线,横坐标为温度或时间,纵坐标为,也可用失重百分数等其它形式表示。由于试样变化的实际过程不是在某一温度下同时发生并瞬间完成的,因此热重曲线的形状不呈直角台阶状,而是形成带有过渡和倾斜区段的曲线。
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