xrd摇摆曲线检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrd与eds有什么区别
sem,eds,xrd的区别,sem是扫描电镜,eds是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪,xrd摇摆曲线检测分析,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。xrd是x射线衍射仪,是用于物相分析的检测设备。
sem用于观察标本的表面结构,其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样 品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,xrd摇摆曲线检测,反映了标本的表面结构。
eds的原理是各种元素具有自己的x射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△e,能谱仪就是利用不同元素x射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
xrd是利用衍射原理,测定物质的晶体结构,织构及应力,的进行物相分析,定性分析,辽宁xrd摇摆曲线检测,定量分析。
说简单点,sem是用来看微观形貌的,观察表面的形态、断口、微裂纹等等;eds则是检测元素及其分布,但是h元素不能检测;xrd观察的是组织结构,可以测各个相的比例、晶体结构等。
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sin2ψ法公式是基于布拉格定律和弹性理论推导出来的,弹性理论所涉及的对象被假定为均匀、连续、各向同性的介质。对于多晶金属材料来说,只有晶粒细小,没有织构,才近似满足这样的假定。
因为,衍射用的x射线对被测材料的穿透能力极低,xrd摇摆曲线检测平台,大多在几微米或十几微米的---。因此,可以认为垂直于材料表面方向的应力分量均为零。只有在特殊加工(如强力的、大切削量的磨削)的条件下,致使主应力平面偏离试样表面,才可能出现τ13≠0,τ23≠0的情况。通常出现±ψ分叉情况,拟合曲线往往不具备椭圆属性,其实质应该是测角仪±ψ机构的系统误差造成的,因此无需过分强调椭圆拟合的---性。
综上所述,x射线衍射残余应力测定的实际可操作过程就是选择若干ψ角(或若干对±ψ 角)分别测定衍射角2θφψ,然后进行计算。关于如何安排ψ平面和2θ平面的空间几何关系、如何获取衍射曲线、如何进行计算等方面,学者们研究出了许多方法。
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残余应力及其产生
1. 类内应力
在较大的材料区域(很多个晶粒范围)内几乎是均匀的。与第ⅰ类内应力相关的内力在横贯整个物体的每个截面上处于平衡。与相关的内力矩相对于每个轴同样抵消。当存在的物体的内力平衡和内力矩平衡遭到破坏时会产生宏观的尺寸变化。
2.第二类内应力
在材料的较小范围(一个晶粒或晶粒内的区域)内近乎均匀。与相联系的内力或内力矩在足够多的晶粒中是平衡的。当这种平衡遭到破坏时也会出现尺寸变化。
3.第三类内应力
在的材料区域(几个原子间距)内也是不均匀的。与相关的内力或内力矩在小范围(一个晶粒的足够大的部分)是平衡的。当这种平衡破坏时,不会产生尺寸的变化。
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