半导体xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,半导体xrd检测机构,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrd与eds有什么区别
sem,eds,xrd的区别,半导体xrd检测价格,sem是扫描电镜,eds是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪,是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。xrd是x射线衍射仪,是用于物相分析的检测设备。
sem用于观察标本的表面结构,其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样 品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。
eds的原理是各种元素具有自己的x射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△e,能谱仪就是利用不同元素x射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
xrd是利用衍射原理,测定物质的晶体结构,云南半导体xrd检测,织构及应力,的进行物相分析,定性分析,半导体xrd检测实验室,定量分析。
说简单点,sem是用来看微观形貌的,观察表面的形态、断口、微裂纹等等;eds则是检测元素及其分布,但是h元素不能检测;xrd观察的是组织结构,可以测各个相的比例、晶体结构等。
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同倾固定ψ0法
每次探测扫描接收反射x射线的过程中,入射角ψ0保持不变选择一系列不同的入射线与试样表面法线之夹角ψ0来进行应力测试工作。
ψ与ψ0之间关系为:
ψ=ψ0+η
η=90°﹣θ
同倾固定ψ0法的ψ0角设置要受到下列---:
ψ0+2η< 90°
*** ψ0<2θ-90°
2η< 90°***2θ>; 90°
同倾固定法
在每次扫描过程中衍射面法线固定在特定ψ角方向上,即保持ψ不变
测试时x=管与探测器等速相向(或相反)而行,每个接收反射x=时刻,相当于固定晶面法线的入射角与反射角相等。通过选择一系列衍射晶面法线与试样表面法线之间夹角ψ,来进行应力测试工作。同倾固定ψ法的ψ角设置要受到下列条件---
ψ+η< 90°***ψ<0
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采用x射线衍射法测定残余应力,早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出,把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法,使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展,开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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