大功率xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
表征光路及其需要用到的附件
在进行薄膜测试时,我们需要特殊的x射线衍射仪。当我们使用普通测试粉末衍射的---光束来进行物相分析时影响并不大,但是当我们需要评估薄膜时,使用平行光路就更为合适了。这时候我们就需要利用---的光路设计将发散的---光路转换为平行光路。
外延薄膜通常都是的结晶半导体化合物。为了表征其晶体也就是评估薄膜晶体的与否,这时候我们需要用到rocking curve即摇摆曲线来对薄膜进行评估。并且这时候我们需要在光路中设计一些元件来过滤掉cu靶辐射出来的cukα2和cukβ射线,大功率xrd检测机构,仅有cukα1射线波长,从而提高光路的分辨率,防止别的x射线的干扰。
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侧倾法
侧倾法的衍射几何特点是平面与测角仪2θ扫描平面垂直。由于2θ扫描平面不再占据ψ角转动空间,二者互不影响,大功率xrd检测多少钱,ψ角设置受任何---。优点:
·扫描平面与ψ角转动平面垂直,在各个ψ角衍射线经过的试样路程近乎相等,因此不必考虑吸收因子的影响;
·由于ψ角与2θ扫描角互不---,因而增大这两个角度的应用范围;
·衍射几何对称性好,广西壮族自治大功率xrd检测,有效减小散焦的影响,---衍射谱线的对称性。
缺点:
ψ角与2θ角占据互相垂直的两个平面,需要足够的空间。对角焊缝、齿根等的应力测试比较困难。
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x射线光电子能谱仪以x射线为激发源。辐射固体表面或气体分子,将原子内壳层电子激发电离成光电子,通过分析样品发射出来的具有特征能量的光电子,进而分析样品的表面元素种类、化学状态和电荷分布等信息,是一种无损表面分析技术。
这种技术分析范围较宽,原则上可以分析除氢以外的所有元素,但分析---较浅,大约在25~100 ?范围,不过其灵敏度高,测量精度可达10 nm左右,主要用于分析表面元素组成和化学状态,原子周围的电子密度,---是原子价态及表面原子电子云和能级结构。
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