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薄膜样品在基底上以二维形式存在,通常在平行厚度方向或者面内方向具有---的各向---。因此,一般我们讨论材料的性能和特点时一般有两个方向,一个是沿厚度方向,另一个是面内方向(晶面垂直于宏观平面生长的方向)。我们对薄膜的表征包含晶格常数,晶格畸变,晶体取向以及晶粒尺寸等。此外,薄膜分析通常包括薄膜特有的结晶相、亚稳相、外延薄膜中的畸变/弛豫等。
除上述外,x射线反射率的方法可以被用来表征薄膜的各种特征,例如厚度,密度,粗糙度等。该方法适用于晶态、非晶态以及多层膜的表征。
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样品处理
●对于钢材试样,x射线只能穿透微米至十几微米的---,湖南大功率xrd检测,测试结果实际是这个---范围的平均应力,试样表面状态对测试结果有直接的影响。要求试样表面光滑,没有污垢、油膜及厚氧化层等。
●由于机加工而在材料表面产生的附加应力层大可达100μm,因此需要对试样表面进行预处理。预处理的方法是利用电化学或化学腐蚀等手段,去除表面存在附加应力层的材料。
●如果实验目的就是为了测试机加工、喷丸、表面处理等工艺之后的表面应力,则不需要上述预处理过程,必须小心保护待测试样的原始表面,不能进行任何磕碰、加工、电化学或化学腐蚀等影响表面应力的操作。
●为测定应力沿层深的分布,可用电解腐蚀的方法进行逐层剥离,然后进行应力测量。或者先用机械法快速剥层至一定---,再用电解腐蚀法去除机械附加应力层。
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采用x射线衍射法测定残余应力,早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出,把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法,使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展,开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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