半导体研究所-新疆维吾尔自治xrd小角度检测

xrd小角度检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，xrd小角度检测实验室，以及行业应用技术开发。

1、简介

x射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末xrd表征，存在一定的---和薄膜的特性。例如，当薄膜具有---的择优取向时，只有特定晶面的衍射能被观察到，xrd小角度检测机构，这也是为什么薄膜的测试表征比普通粉末表征难的原因。本文将综述x射线衍射技术用于薄膜的测试。

2、为什么薄膜材料要使用x射线来表征？

2.1、x射线分析的特点

随着---薄膜材料制备技术的发展，用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得复杂和多样化。这其中x射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。

利用x射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面，x射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比，x射线衍射方法有以下特点：

l 非破坏性的，并且无需---的制样方法。

l 能够在特殊环境和常规环境下进行测试，例如高温高压下测试。

l 能够获得材料的平均结构信息，测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。

l 对有机材料的破坏性也较低。

l 通过控制x射线的角度能够改变分析的材料的---。

l 可以表征埋层材料的界面结构。