大功率xrd检测实验室-半导体单晶xrd---

大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

jade通常并没有包含物相定量分析的模块。但是，可以通过jade计算出物相的衍射强度，进而进行物相分数的计算。但是，在计算过程中，大功率xrd检测分析，有几个问题值得注意

衍射强度的表示问题

物相的衍射强度既可以用衍射峰的高度也可以用衍射峰的面积来表示。通过jade可以得到4种物相衍射强度的数据：寻峰峰高、寻峰面积；拟合峰高、拟合面积。而峰高和峰面积的关系是：面积=峰高*fwhm。

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首先，我们必须强调的是xrd做含量分析非常不准，如果非要说检出限是多少主要是由什么决定的，那就是由仪器的功率和管电流决定的，如果要表征元素的含量---化学方法测或者原子吸收来做。

另外，xrd的检测限是不能简单的用％来表示的，这和被检测物质的分散度有很大关系，也就是结晶度，与物质种类也有很大关系，样品的吸收系数大，检出限会高很多。如果非要确定出一个检出限，一般说是5%左右。但是，不同的物相，对x射线的吸收不同，则检出限会有较大出入。如单质硅，一般在1%左右可以检出，而另一些相，可能10%都难于检出。当然。在样品相同的情况下，使用较高的衍射功率，使用较长的扫描时间效果会---。不过，如果要延长扫描时间，如果延长一两倍是见不到效果的。

经验表明，如果使用常规的扫描速度能看到某种存在的迹象，那么，大功率xrd检测价格，再采用1度/min或更慢的速度来扫描。如果使用常规扫描速度---都看不到痕迹，就没有---再费力了。进行半定量分析确实是很不准确，山东大功率xrd检测，而且结果确实与晶粒大小相关。晶粒小的析出相，连检出都困难，更别说做定量分析了。晶粒小的物相会使其rir值增大，曾做过ceo2的rir值，在不同的温度下的产物，其rir值相差10倍。

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