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为了掌握x射线衍射残余应力测定技术，有---其方法进行归纳。
x射线衍射残余应力测定方法分类
(1) x射线衍射残余应力测定方法可分为sin2ψ法、cosα法。
(2) sin2ψ法按照残余应力计算方法分类，可分为2θ法、d值法、应变法。
(3) sin2ψ法按ψ与2θ的几何关系分类，可分为同倾法、侧倾法。
(4) 按x射线管、计数管扫描方式可分为固定ψ0法，固定ψ法。
(5) 侧倾法又可分为标准的侧倾法、修改的侧倾法、侧倾固定ψ法。
(6) 测定剪切应力τφ采用的正负ψ测定法。
(7) x射线衍射法一般是测方向的应力，也有点的主应力测定法。
(8) 摆动法可分为ψ0摆动法、ψ摆法、德拜环摆动法、φ角摆动法和x/y往复平移法等。
(9) 从衍射几何分类，有---法、准---法和平行光束法。
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轮廓仪是一种两坐标测量仪器，仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行，传感器的触针感受到被测表而的几何变化，在x和z方向分别采样，xrd晶粒尺寸检测价格，并转换成电信号，该电信号经放大和处理，再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中，计算机对原始表而轮廓进行数字滤波，分离掉表而粗糙度成分后再进行计算，测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标，或放大的实际轮廓曲线，测量结果通过显示器输出，也可由打印机输出。
而利用---的3d轮廓仪可以实现对硅晶圆的粗糙度检测、晶圆ic的轮廓检测、晶圆ic减薄后的粗糙度检测。
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