半导体xrd研究所----行政xrd小角度检测

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应力计算

?读入原始数据文件，或按ψ角由小到大的顺序读入5个独立文件

?作---的图谱平滑处理

?选择calculate stress

?在每个数据行的ψ列下单击，输入不同的ψ值;

?在e=和υ=位置分别输入样品的弹性模量和泊松比;

?按“fit all按钮，拟合全部ψ角下的曲线；

?在窗口下端显示样品的残余应力:

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一般来说，在强度表示中，有3个主要的问题：

(1) 通过寻峰操作得到的峰高和面积数据有时---确，但是，若衍射谱中存在重叠峰则会使计算值偏高。

(2) 拟合面积较为准确，可解决重叠峰的问题，但拟合峰高一般有偏差。

(3) 当物相的晶粒度不同时，用峰高还是用面积来表示强度并不等价，它们受衍射峰宽度的影响。

实际操作中，通常分别使用4种强度数据进行计算，再将计算结果作平均，可得到较为理想的结果。但是，如果重叠峰---多时，可只选用拟合数据，而当样品中无重叠时，使用寻峰数据计算反而会。

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