浙江xrd残余应力检测-半导体xrd薄膜测试_广州其他分类

广东省科学院半导体研究所提供浙江xrd残余应力检测-半导体xrd薄膜测试。

xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

xrd分析与xrf分析的异同

1，用途不同。xrd是x射线衍射光谱，（x－ray diffraction ---ysis)是用于测定晶体的结构的，而xrf是x射线荧光发射谱，（x－ray fluorescence ---ysis)主要用于元素的定性、定量分析的，一般测定原子序数小于na的元素，定量测定的浓度范围是常量、微量、痕量。

2，原理上的差别：xrd是以x射线的相干散射为基础，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶体理论、倒易点阵厄瓦尔德图解为主要原理的；

xrf则是以莫斯莱定律(1/λ)1/2=k(z-s)，k，xrd残余应力检测哪里可以做，s是与线性有关的常数。因此，得出不同元素具有不同的x射线（即特征线）为基础对元素定性、定量分析的。

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应力测量要注意的问题

●常规的x射线应力测试，xrd残余应力检测，只是对无粗晶和无织构的材料才有效，否则会给测试工作带来一定难度。

●对于非理想组织结构的材料，必须采用特殊的方法或手段来进行测试，但某些问题迄今未获得较为---的解决。

●如果晶粒粗大，各晶面族对应的德拜环则不连续，当探测器横扫过各个衍射环时，所测得衍射强度或大或小，衍射峰强度波动很大，依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。

●为使德拜环连续，获得满意的衍射峰形，必须增加参与衍射的晶粒数目。

●为此，xrd残余应力检测测试，对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪，都具备回摆法的功能。

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jade通常并没有包含物相定量分析的模块。但是，可以通过jade计算出物相的衍射强度，进而进行物相分数的计算。但是，在计算过程中，有几个问题值得注意

衍射强度的表示问题

物相的衍射强度既可以用衍射峰的高度也可以用衍射峰的面积来表示。通过jade可以得到4种物相衍射强度的数据：寻峰峰高、寻峰面积；拟合峰高、拟合面积。而峰高和峰面积的关系是：面积=峰高*fwhm。

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