北京xrd物相分析检测-半导体xrd测试机构

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    2023-7-18

王小姐
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广东省科学院半导体研究所提供北京xrd物相分析检测-半导体xrd测试机构。






xrd物相分析检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,xrd物相分析检测测试,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

样品的结构精修是以某一结构为初始值进行修正的。具有步骤如下:

(1) 物相检索,对物相的“初始结构”。

(2) 扣背景和kα2、对图谱作平滑处理。

(3) 物相衍射峰的拟合。如果样品中存在几个物相,则全部衍射峰都要参与拟合。

(4) 选择菜单“opti-cell refinement”命令,开始精修。



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xrd常用于测试金属、非金属、无机材料和有一定结晶的高分子材料的物相分析。在样品测试形态上,一般为干燥的粉末,块体或者薄膜结构。

技术特点

常规测试中,xrd更多地被用于对材料进行物相定性分析,而对于物相结构的定量分析而言,xrd物相分析检测平台,xrd一般只能检测样品含量在1%以上的物相,准确度一般为1%的数量级。

需要注意的是,xrd不能通过直接测量衍射峰的面积来求物相的含量。因为对于xrd图谱而言,其测定的衍射强度是经过试样吸收之后表现出来的,北京xrd物相分析检测,这意味着衍射强度还与吸收系数有关,而吸收系数又依赖于物相浓度。所以要测某个物相的含量,首先必须明确衍射强度、物相含量和吸收系数之间的关系。

常规定量分析方法有:外标法、内标法、k值法、直接对比法、绝热法等。目前,做物相定量分析可以利用reitveld结构精修的办法进行数学处理得出各物相的具体含量。一般不用xrd来分析体相元素含量,通常是用它来分析不同结构的含量。与其他技术相比,xrd可以用来区分具有相同元素但不同物相的物质,如锐钛矿tio2和金红石tio2。

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用origin计算残余应力

?分别测量φ=0,15,25,35,45°的衍射谱;

?用jade5打开各个衍射谱,做拟合,得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件,再用origin绘制图谱做拟合,求峰位);

?用excel建立sin2 ψ-2θ表;●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合,得到斜率m;●查找材料的弹性模量和泊松比,计算弹性常数k;

●按σ=km计算应力。

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