algan材料xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,algan材料xrd检测测试,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrd全称x射线衍射(x-raydiffraction),利用x射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后x射线信号特征,经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相,并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷(位错)和晶格缺陷等。微区衍射(也称为射线微区衍射、微区x射线衍射或 uxrd)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化xrd测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射x射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。
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应力测量要注意的问题
●材料中织构,主要影响应力测试2θ与sin2ψ的线---,影响机制有两种观点:一种观点认为,2θ与sin2ψ的非线性,是由于在形成织构过程中的不均匀塑性变形所致;另一观点则认为,这种非线性与材料中各向---有关,不同方位即ψ角的同族晶---有不同的应力常数k值,从而影响到2θ与sin2ψ 的线---。
●由于理论认识上的局限,使得织构材料x射线应力测试技术一直未获得重大突破。
●目前没有先决条件并具有一定实用意义的方法是,测试高指数的衍射晶面。
●选择高指数晶面,增加了所采集晶粒群的晶粒数目,从而增加了平均化的作用,削弱了择优取向的影响。
●这种方法的缺点是,对于钢材必须采用波长很短的mo-kα线,而且要滤去多余的荧光辐射,所获得的衍射峰强度不---。
●采用单晶应力测试技术,也是解决织构应力测定的有效方法。
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用origin计算残余应力
?分别测量φ=0,15,25,35,45°的衍射谱;
?用jade5打开各个衍射谱,做拟合,得到峰位(也可以将衍射图数据转换成txt文本文件,algan材料xrd检测哪里可以做,再用origin绘制图谱做拟合,求峰位);
?用excel建立sin2 ψ-2θ表;●用origin作sin2 ψ-2θ图并作直线拟合,得到斜率m;●查找材料的弹性模量和泊松比,计算弹性常数k;
●按σ=km计算应力。
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