贵州xrd薄膜检测-半导体xrd薄膜测试

xrd薄膜检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微区xrd可以测试某个区域的xrd谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °，其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的xrd，就可以用微区xrd来测试。

微区xrd原理跟一般xrd一样，只是beam很小是微米级，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区xrd的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的xrd的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有---梯度成份的小斑点，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、---样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

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一般人认为，通过x射线衍射方法就能了解样品中存在某些元素，其实这是一个误解。x射线衍射是一种结构分析手段，而不是元素分析手段，有很多物相虽然结构上也存在微小的差别，但是x射线衍射物相分析并不能真正区分它们。x射线衍射物相分析的目的应当是在已知样品元素组成的情况下检测这些元素的赋存状态。

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