半导体xrd薄膜测试-xrd小角度检测报告

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样品成分的限定

样品元素限定是缩小检索范围的有效手段。因此，我们在进行x射线衍射物相分析之前应当先做样品的元素分析，只有这样，才能准确并且正确地检索出样品中的全部物相。

成分限定的要点是：

(1) 只选样品中的主要元素。

(2) 选择4个元素。当样品成分比较复杂，含有元素种类较多时，优先选择量多的元素，xrd小角度检测报告，并且每次只选择不多于4个元素，否则，检索范围过大，会影响检索结果。

(3) 尝试非金属元素c，h，o。有时，样品会发生吸潮、氧化、腐蚀，在按已知元素检索不出物相时，要考虑样品是否发生这种反应。

(4) 尝试不同的元素组合。由于衍射谱受固溶、择尤取向等影响，导致衍射峰位偏离正常位置或者峰强不匹配，在很多情况下，会有一些物相检索不出来，应当试探特定元素组合的存在。

当样品中元素种类太多时，检索结果可能不准确。因此，应当反复检索几次，并对比几次的检索结果，xrd小角度检测分析，然后才作出终的结论。

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不能精修的原因与解决办法

选择精修命令后，有时会出现“unable to graft hkl’s to peaks”的提示。表明不能进行精修。其原因有两种：一是有些拟合的峰没有对应的(hkl)标记。例如，测量铁素体的5条线，但检索pdf卡片只有前3条线，3条衍射线不能进行精修。二是衍射峰位相对于“选定结构 (标准卡片)”的峰位偏离太多。

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