湖北xrd掠入射(gixrd)检测-半导体xrd物相分析

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

粉末衍射仪

粉末衍射仪是目前研究粉末的x射线衍射常用而又方便的设备。它的光路系统设计采用---光束型的衍射几何，一般使用普通的nai(tl)闪烁检测器或正比计数管检测器以电子学方法进行衍射强度的测量；衍射角的测量则通过一台精密的机械测角仪来实现。

 测角仪

是粉末衍射仪上精密的机械部件，用来测量衍射角。

 发散狭缝

测角仪上用来---发散光束的宽度。发散狭缝的宽度决定了入射x射线束在扫描平面上的发散角。

接收狭缝

测角仪上用来---所接收的衍射光束的宽度。接收狭缝是为了---待测角度位置附近区域之外的x射线进入检测器，xrd掠入射（gixrd）检测价格，它的宽度对衍射仪的分辨能力、线的强度以及峰高/背底比有着重要的影响作用。

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通常称为晶块尺寸或晶粒尺寸。计算晶块尺寸时，一般采用低角度的衍射线。但是，如果晶块尺寸较大，可用较高衍射角的衍射线。

使用谢乐公式计算晶粒尺寸时，若晶粒尺寸在30nm左右，计算结果较为准确。此公式适用范围为size<100nm。判断一个样品是否存在晶粒细化的依据是：衍射峰宽化与衍射角的余弦成反比。

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