xrd物相分析检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
x射线衍射仪的使用方法
(a)装填样品
按下衍射仪面板上的door按钮,指示灯闪烁、蜂鸣器发出报警声,缓慢的向右拉开衍射仪保护门。
将样品表面朝上安装到样品台上,此时注意尽可能的将样品置于载物台的中心位置。
向左轻拉右侧门,两门自动吸住后报警声停止。
(b)设置仪器参数
---桌面right measurement system图标,进入到软件控制界面
双击condition下面的1,进入到测量条件的设置界面,根据所测试样品要求,设置start angle(起始角)、stop angle(终止角)、scan speed(扫描速度)等参数(注意:一般扫描电压和扫描电流这些参数不要更改)
条件设置好以后,关闭条件设置界面,返回主界面(注意:在设置参数的时候,xrd的起始角一般是大于3°,终止角小于140°,否则会使测角仪的旋转臂撞到其他部件,使测角仪受到损坏。)
---browse按钮,进入到保存文件对话框,设置文件保存位置和样品名称后,xrd物相分析检测,返回主界面
(c)开始测试
在主界面上---executement,浙江xrd物相分析检测,系统开始调整kv、ma值,此时弹出新的测量窗口,直到测量完成,xrd物相分析检测多少钱,测量数据自动保存在所设置为保存位置。
(d)数据存盘
一般为了防止u盘存在---,拷取实验数据需要光盘,下面是一个光盘流程
(e)关闭系统
在测试的时候根据实际情况,如果后面仍有学需要测试,在完成自己样品测试后,将自己的样品取出即可。如果没有人测试,则按照下面的流程来关闭x射线
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应力测量要注意的问题
●常规的x射线应力测试,只是对无粗晶和无织构的材料才有效,否则会给测试工作带来一定难度。
●对于非理想组织结构的材料,必须采用特殊的方法或手段来进行测试,但某些问题迄今未获得较为---的解决。
●如果晶粒粗大,各晶面族对应的德拜环则不连续,当探测器横扫过各个衍射环时,所测得衍射强度或大或小,衍射峰强度波动很大,依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。
●为使德拜环连续,获得满意的衍射峰形,必须增加参与衍射的晶粒数目。
●为此,对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪,都具备回摆法的功能。
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结构精修通常分为两个步骤:先通过标准样品的测量,校正仪器精度;然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。
仪器角度校正
选用标准硅样品,用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为:
(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后,选择菜单“---yze-theta calibration f5”命令,在打开的对话框中单击calibrate,显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。
(2) 单击“save curve”命令,将当前角度补正曲线保存起来。
(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样,当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。
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