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xrd全称x射线衍射(x-raydiffraction)，利用x射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后x射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等。微区衍射（也称为射线微区衍射、微区x射线衍射或 uxrd)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化xrd测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射x射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。
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不同晶粒度的同一物相，rir值相差很大
rir值实际上与物相的很多结构因素有关。晶粒大小是影响rir值的关键因素。如果被测物相是纳米晶粒，也按正常的rir值进行分数计算，则计算结果可能会与实际值相差很大。一般来说，晶粒越小，衍射峰高越低，xrd倒易空间（rsm）检测平台，则实际rir值越小，有时只有pdf卡片上的rir值的1/10。影响rir值的另一个因素是粉末的研磨程度。研磨越久，xrd倒易空间（rsm）检测价格，rir值会越小。
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一般人认为，通过x射线衍射方法就能了解样品中存在某些元素，其实这是一个误解。x射线衍射是一种结构分析手段，而不是元素分析手段，有很多物相虽然结构上也存在微小的差别，但是x射线衍射物相分析并不能真正区分它们。x射线衍射物相分析的目的应当是在已知样品元素组成的情况下检测这些元素的赋存状态。
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