半导体xrd薄膜测试-xrd掠入射(gixrd)检测机构

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪的使用方法

（a）装填样品

按下衍射仪面板上的door按钮，指示灯闪烁、蜂鸣器发出报警声，缓慢的向右拉开衍射仪保护门。

将样品表面朝上安装到样品台上，此时注意尽可能的将样品置于载物台的中心位置。

向左轻拉右侧门，两门自动吸住后报警声停止。

（b）设置仪器参数

---桌面right measurement system图标，进入到软件控制界面

双击condition下面的1，进入到测量条件的设置界面，根据所测试样品要求，云南xrd掠入射（gixrd）检测，设置start angle（起始角）、stop angle（终止角）、scan speed（扫描速度）等参数（注意：一般扫描电压和扫描电流这些参数不要更改）

条件设置好以后，关闭条件设置界面，返回主界面（注意：在设置参数的时候，xrd的起始角一般是大于3°，终止角小于140°，否则会使测角仪的旋转臂撞到其他部件，使测角仪受到损坏。）

---browse按钮，进入到保存文件对话框，设置文件保存位置和样品名称后，返回主界面

（c）开始测试

在主界面上---executement，系统开始调整kv、ma值，此时弹出新的测量窗口，直到测量完成，测量数据自动保存在所设置为保存位置。

（d）数据存盘

一般为了防止u盘存在---，拷取实验数据需要光盘，下面是一个光盘流程

（e）关闭系统

在测试的时候根据实际情况，如果后面仍有学需要测试，在完成自己样品测试后，将自己的样品取出即可。如果没有人测试，则按照下面的流程来关闭x射线

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xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，xrd掠入射（gixrd）检测机构，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，xrd掠入射（gixrd）检测平台，以及行业应用技术开发。

微区xrd可以测试某个区域的xrd谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °，其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的xrd，就可以用微区xrd来测试。

微区xrd原理跟一般xrd一样，只是beam很小是微米级，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区xrd的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的xrd的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有---梯度成份的小斑点，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、---样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

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