半导体xrd薄膜测试-锂电xrd检测报告_广州其他分类

广东省科学院半导体研究所提供半导体xrd薄膜测试-锂电xrd检测报告。

锂电xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微区xrd可以测试某个区域的xrd谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °，其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的xrd，就可以用微区xrd来测试。

微区xrd原理跟一般xrd一样，只是beam很小是微米级，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区xrd的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的xrd的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有---梯度成份的小斑点，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、---样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

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xrd图谱中某个衍射峰的峰高、峰宽和峰面积分别表示什么

首先要区别是什么物质的xrd图谱，比如单晶、多晶（粉末）等.

峰高：对多晶来说，峰高由同方向排列的晶面分布数量(texture)决定，锂电xrd检测报告，即：若所有晶粒为同方向排列，则此时各个晶面的峰高要大于无规律排列的晶粒. 而同一图谱中不同峰高则是由每个峰对应的晶面数量决定.

另外，如果样品不为纯晶体，而同时存在非晶体的情况下，不同xrd图像同一位置角度对应的峰高不同则反映了晶体成分的多少. 晶体化程度越高，相应的峰越高.

峰宽：一般分析多的数值是fwhm(半峰全宽). 峰宽受很多因素影响：从仪器角度说，因素为所用x射线的波长分布，即使是单色x射线也不完全只有确定波长；从多晶样品角度说，fwhm和晶粒大小成反比，锂电xrd检测测试，即，晶粒直径越小对应的fwhm越大，具体计算可以参考scherrer equation.

峰面积：也称为integral intensity. 这个值同样不是由某单一值决定，和样品本身相关的量有：该峰对应晶面的数量，晶胞体积，晶粒体积，structure factor等.

以上只是粗略说明，具体情况还是需要具体分析.

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

密封式管

这是常使用的x射线管，它的靶和灯丝密封在高真空的壳体内。壳体上有对x射线“透明”的x射线出射“窗孔”。靶和灯丝不能更换，如果需要使用另一种靶，就需要换用另一只相应靶材的管子。这种管子使用方便，但若灯丝烧断后它的寿命也就完全终结了。密封式x射线管的寿命一般为1000—2000小时，它的报废往往并不是与因灯丝损坏，而是由于靶面被熔毁或因受到钨蒸气及管内受热部分金属的污染，致使发射的x射线谱线“不纯”而被废用。

可拆式管

这种x射线管在动真空下工作，配有真空系统，宁夏回族自治锂电xrd检测，使用时需抽真空使管内真空度达到10－5毫帕或---的真空度。不同元素的靶可以随时更换，灯丝损坏后也可以更换，这种管的寿命可以说是的。

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