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xrd薄膜检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微区xrd可以测试某个区域的xrd谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °，其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的xrd，就可以用微区xrd来测试。

微区xrd原理跟一般xrd一样，只是beam很小是微米级，xrd薄膜检测服务，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区xrd的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的xrd的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有---梯度成份的小斑点，河南xrd薄膜检测，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、---样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

能量分辨

是指检测器接收某一能量的（某---长射线的光），所输出脉冲信号的平均幅度与入射的能量成正比的特性。

闪烁检测器是各种晶体x射线衍射工作中通用性能好的检测器。它的主要优点是：对于晶体x射线衍射使用的x射线均具有---甚至达到100%的效率；使用---，稳定性好；此外，它和pc一样，具有很短的分辨时间（10-7秒数量级），因而实际上不必考虑由于检测器本身的---所带来的计数损失；它和pc一样，对晶体衍射工作使用的软x射线也有一定的能量分辨本领。因此通常x射线粉末衍射仪配用的是闪烁检测器。

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