xrd物相分析检测分析-半导体研究所(商家)

xrd物相分析检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

结构精修通常分为两个步骤：先通过标准样品的测量，校正仪器精度；然后通过被测样品的峰位进行晶胞参数的修正。

仪器角度校正

选用标准硅样品，用与被测样品相同的实验条件测量标准样品的全谱。校正仪器角度误差。具有步骤为：

(1) 对标准样品的衍射谱进行物相检索、扣背景和kα2、平滑、全谱拟合后，选择菜单“---yze-theta calibration  f5”命令，在打开的对话框中单击calibrate，显示出仪器的角度补正曲线(即仪器角度误差随衍射角的变化曲线)。

(2) 单击“save curve”命令，将当前角度补正曲线保存起来。

(3) 选中“calibrate patterns on loading automatically”。这样，当被测样品的衍射图谱调入时jade自动作角度补正(仪器角度误差校正)。

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同时存在晶粒细化与微应变

令k=1，作图，用小二乘法作直线拟合，则从直线的斜率可求出微观应变；而直线在纵坐标上的截距即为晶块尺寸的倒数。

晶粒尺寸与微观应变计算时应当注意的问题

首先，应当正确地判断样品的衍射峰宽化的原因。jade采用作图法，如果数据点基本上是在一条水平线附近，则应当只有晶粒细化的因素存在；若数据点保持在一条斜线附近，则表明有微应变存在。此时应进一步判断是否除微应变外是否还存在晶粒细化。

其次，测量前应当制作相应的仪器宽度曲线。测量仪器宽度曲线的样品应当是粗晶粒且无应变的粉末样品。仪器宽度曲线的测量应当与样品的测量条件相同。不同的测量条件可能导致不同的仪器宽度变化规律。

后，合适的拟合条件也是很重要的，不同的拟合参数可能会得到不同的计算结果。

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