xrd倒易空间(rsm)检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrdi技术说明。
无缺陷的晶体产生的x射线衍射信号的强度是均匀一致分布的,而晶体的缺陷会导致晶体的形变以及衍射强度的变化。衍射强度的变化表现为灰度的差异。这类差异的成因包括晶体结构的差异、取向(倾斜)变化、或者由于高应变场梯度导致的消光差异等
在半导体的制程中,晶圆内部产生的边缘微裂纹可能会导致晶圆的损坏。虽然晶圆内一些单独存在且尺寸微小的缺陷不造成直接的晶圆性能问题,但是在某些制程中,xrd倒易空间(rsm)检测费用多少,比如快速退火(rta等)、化学机械加工(cmp)、晶圆装卸移动中等,边缘处存在内部损伤的晶圆发生灾难性的概率大幅增加,并导致生产设备的污染。也有研究表明,在一定条件的热处理时,晶圆边缘会产生滑移带,并向内延伸至晶圆的区域。这类缺陷也会造成后续光刻工艺位移、芯片性能下降、良率下降、---时导致晶圆等后果。欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~xrd倒易空间(rsm)检测
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强度到底应该如何表示?
前面已经提到,衍射强度的定义与rir值的定义有差别。因此,在计算物相的分数时到底应当用峰高还是用积分面积来作为衍射强度呢?如果使用峰高,则与衍射的积分强度定义相背,肯定会带来误差,天津xrd倒易空间(rsm)检测,如果使用积分强度,又与rir值定义相背。因此,xrd倒易空间(rsm)检测多少钱,不论你使用哪个值来作为强度都会存在较大的误差。
现在,我们来看看,误差到底从哪里出来的。上面已经提到,只有当衍射峰的半高宽完全相同时,衍射峰高与面积相当。那么,在什么情况下会出现衍射峰的宽度不同呢?
(1)衍射峰宽度是衍射角的函数,不同衍射角的衍射峰宽度是不同的。这一点我们很能看得明白,低角度的衍射峰总是较窄,但当衍射角较高时,我们看到的衍射峰低而宽,有时漫散得我们都不想把它们扫描出来。
(2)不同晶粒尺寸的衍射峰宽度是不同的。细晶粒物相的衍射峰低而宽,结晶完好的粗晶粒物相的衍射峰锐而窄。
(3)存在应力的样品,同样使衍射峰变宽。
(4)如果存在微观的缺陷,会使衍射峰的线形变化,也会影响面积与峰高的关系。
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细针状微晶粉末样品做 xrd 重复性很差。(制作粉末衍射样品片)怎么可以避免择优取向?
择优取向是很难避免的,只能尽力减少他的影响。
首先,你要讲样品磨得尽量细(但要适度,要注意样品的晶体结构不要因研磨过度而受到损坏);
不要在光滑的玻璃板上大---紧(压样时可以在玻璃板上衬一张粗糙的纸张),样品成形尽可能松一些;
制样过程中也可以掺一些玻璃粉,或加一些胶钝化一下样品的棱角。
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