四川单晶xrd检测-半导体单晶xrd---_广州其他分类

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单晶xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

半导体器件生产中，从半导体单晶片到制成终成品，须经历数十甚百道工序。为了---产品性能合格、，并有高的成品率，根据各种产品的生产情况，对所有工艺步骤都要有严格的具体要求。因而，在生产过程中必须建立相应的系统和的监控措施，首先要从半导体工艺检测着手。

半导体工艺检测的项目繁多，内容广泛，四川单晶xrd检测，方法多种多样，可粗分为两类。类是半导体晶片在经历每步工艺加工前后或加工过程中进行的检测，也就是半导体器件和集成电路的半成品或成品的检测。第二类是对半导体单晶片以外的原材料、辅助材料、生产环境、工艺设备、工具、掩模版和其他工艺条件所进行的检测。类工艺检测主要是对工艺过程中半导体体内、表面和附加其上的介质膜、金属膜、多晶硅等结构的特性进行物理、化学和电学等性质的测定。其中许多检测方法是半导体工艺所特有的。

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x射线衍射基本的应用就是鉴定物相。其它的应用都只有在物相鉴定完成以后才能做。那么物相是怎么鉴定出来的呢？

首先，x射线衍射方法只能证明一个物相的存在，而不能证明一个物相的不存在。

这是因为，x射线衍射强度是一个样品表面信息的统计结果。当一个物相的含量低于某一下限值（1%-10%左右，不同物相不同）时，xrd方法是不能检定一个物相的存在的。因此，如果你还想问“我的样品中有0.3%的zr，为什么在om，tem或sem中可以看到它的存在，为什么用xrd做不出来呢？”这样的问题，说明你对xrd还不了解。

其次，并不是有了jade就能一定分析出是什么物相。

jade是一个pdf卡片的检索程序，通过给定的条件从pdf卡片库中检索出“基本上符合条件的物相卡片”。但，单晶xrd检测实验室，这些卡片可能---不是你的样品中存在的物相，因为有些物相并没有相应的pdf卡片。这时候，jade就---为力了。这时，你多可以检索出与实际物相结构相近的卡片。

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假如，我们所测量的样品是一个整个的块体，比如一块金属，单晶xrd检测报告，也许---铸造出来。情况算是很幸运的了。但是，我们的材料往往是要经过加工的。比如拉、拔、压、轧等等。在这个加工的过程中，晶粒总是通过一定的滑移面滑移，加工程度越高，晶粒排列得越整齐有序。我们称这种现象为“择优取向”或存在“织构”。一旦样品中存在择优取向，所测量出来的衍射峰强度就不能与理论计算的(按完全无序)结果一致。你会发现，我们通常测量的衍射谱与pdf卡片上的强度比完全不对应。

也许强峰变成了不强的峰了，甚至弱到看不到了。你还怎么用“该物相的强峰”的强度来计算含量呢？也许有人会说，东方不亮西方亮，一个物相总会有一个强峰呀。但是，此强峰不是彼强峰啊。它与本来的强峰的衍射角、多重因子、结构因子等等都是不同的，单晶xrd检测哪里可以做，是的！于是，有人就想到了一个事情：“一个物相的总散射强度应当是不变的”。试图使用一定散射区内的全部衍射峰的强度来作为物相的衍射强度，当然，此时的rir值也要用此区域内的全部衍射峰强度来计算。这还算简单的想法，

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