xrd晶粒尺寸检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,xrd晶粒尺寸检测分析,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
1、简介
x射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末xrd表征,存在一定的---和薄膜的特性。例如,当薄膜具有---的择优取向时,只有特定晶面的衍射能被观察到,这也是为什么薄膜的测试表征比普通粉末表征难的原因。本文将综述x射线衍射技术用于薄膜的测试。
2、为什么薄膜材料要使用x射线来表征?
2.1、x射线分析的特点
随着---薄膜材料制备技术的发展,用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得复杂和多样化。这其中x射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。
利用x射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面,x射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比,x射线衍射方法有以下特点:
l 非破坏性的,并且无需---的制样方法。
l 能够在特殊环境和常规环境下进行测试,例如高温高压下测试。
l 能够获得材料的平均结构信息,xrd晶粒尺寸检测,测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。
l 对有机材料的破坏性也较低。
l 通过控制x射线的角度能够改变分析的材料的---。
l 可以表征埋层材料的界面结构。
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喷丸强化中的xrd残余应力检测
喷丸强化会影响零件的各种特性,如残余应力分布、表面粗糙度、结构完整性(变形)、硬度、裂纹的产生和扩展。
schulze在他的---影响喷丸强化处理结果的参数分为设备相关、喷丸相关和工件相关三类。描述了设备的相关参数如覆盖率、冲击角、喷丸时间,射速工件参数如几何形状、硬度、温度和射程相关参数如形状、尺寸、等。 [1]
下面是喷丸强化应力的另一个例子。在本例中,残余应力的---分布由 prism激光小孔法应力分析仪来创建,该设备是基于传统钻孔法和 espi 法相结合的检测技术。
传统的钻孔法是通过去除一定体积的材料使应力平衡发生变化,剩余的材料会重新平衡其应力场,这种应力释放和表面变形可以通过电阻的变化来测量。
espi–电子散斑图干涉测量法是一种非接触式测量技术,xrd晶粒尺寸检测实验室,能够以高分辨率测量和监测非均匀应变场的应力变化。
首先,青海xrd晶粒尺寸检测,该零件已使用 x 射线衍射法(xrd 环)进行测量,然后使用 espi/钻孔技术(espi b1、b2、b3)连续3次测量以验证结果的---性和一致性。
综上所述,可以说喷丸强化产生的残余应力是相当有益的。但是,需要通过---分析来确认应力值和应力分布情况。
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采用x射线衍射法测定残余应力,早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出,把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法,使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展,开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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