天津xrd倒易空间(rsm)检测-半导体xrd薄膜测试

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    2023-5-16

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测量原理

●x射线应力测定—用x射线衍射技术来测定材料中的残余应力(或外载应力)

●优点:

属于物理方法,不改变原始的应力状态

理论严谨

方法成熟

●缺点:

测定的是表面应力

对材料的表层状态比较敏感

●x射线应力测定的基本思路:

- 一定应力状态引起材料的晶格应变和宏观应变是一致的

- 晶格应变可以通过x射线衍射技术测出;宏观应变可根据弹性力学求得

- 从x射线法测得的晶格应变可推知宏观应力



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x射线衍射分析( x-raydiffraction ,简称xrd ),是利用晶体形成的x射线衍射 ,对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。

仪器技术参数

小角衍小角可以达到0.4度,主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度,可以接收到小于10度的衍射峰。

(1 )测量精度:角度重现性+0.0001° ;测角仪半径***200mm ,测角圆直径可连续变

(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°c;

(3)大输出: 3kw ;稳定性: +0.01% ;管电压: 20~ 60kv(1kv/1step) ;管电流: 10~ 60ma。

送样要求

固体粉末:均均干燥,粒度小于70um (过200目) , 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面,尺寸约为20mmx 10mmx 2mm

应用领域

物相分析,可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析,通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。




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有色金属矿石成分检测:

对于有色冶炼企业来说,原料成分的稳定性---,它会对几乎所有工序的生产稳定性产生影响,因此,天津xrd倒易空间(rsm)检测,在预均化堆场、原料磨配料控制等工艺中,矿石成分的分析是的,目前大多数生产企业采用人工取样+实验室分析的方案,xrd倒易空间(rsm)检测价格,在取样、制样和分析过程中会耗费大量的人力物力,而且会带来分析时效滞后和人为误差影响两大难题,很难发挥调整生产的作用。




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