xrd晶粒尺寸检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,xrd晶粒尺寸检测平台,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
根据弹性力学的理论,应变εφψ可表示为:式中e及v分别是材料的弹性模量及泊松比:如果x射线沿po方向入射,则εφψ还可表示为垂直于该方向(hkl)晶面间距改变量,根据布拉格方程,这个应变为:式中d0及2θ0分别是材料无应力状态下(hkl)晶面间距及衍射角。两个公式都表示应变εφψ,其中前者代表了宏观应力与应变之间关系,后者则是晶面间距的变化。
二者将宏观应力(应变)与晶体学晶面间距变化结合在一起,从而建立了x射线应力测试的理论基础。由于x射线穿透表面的---很浅,在测试厚度范围内可简化为平面应力问题来处理,此时σz=txz=tyz =0,可对公式进行简化:令前面两个公式相等,简化后得到:令方位角φ分别为0°、90°及45°时,对上式简化,并对sin2ψ求偏导式中k称为x射线弹性常数或x射线应力常数,简称应力常数
这就是平面应力测试的基本公式,利用应力分量σx、σy和txy,实际上已完整地描述了材料表面的应力状态
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xrd衍射谱图上的衍射峰对应的晶面该怎么看
xrd 衍射峰一般用角度值表示,该值和微观上晶体的晶面间距是对应的,一个晶面间距对应一个特定的角度。当测试多晶,陶瓷时,因为存在晶格异常,偏大或偏小,会使衍射峰变宽。材料结晶越好,峰越窄,河北xrd晶粒尺寸检测,反之越宽。
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采用x射线衍射法测定残余应力,早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出,把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法,使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展,开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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