半导体研究所-云南xrd摇摆曲线检测

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    2023-6-7

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正如上面提到的,我们利用x射线衍射可以获得大量的关于薄膜的信息。在平常的测试中,我们获得的粉末衍射信号来自于平行于宏观平面的晶面信息。当我们测试薄膜时,必须要注意晶面的取向情况,这时候需要调整x射线在样品的入射和反射的方向。

在通常的测试中一般是对称反射光路测试,但在有---取向的薄膜例如外延生长的薄膜时候,对称衍射并不合适。这时候我们就需要调整样品表面的倾斜来获得需要测试的晶面,xrd摇摆曲线检测费用多少,我们称为非对称衍射。

有一种更为特殊的情况,当我们的晶面垂直于样品宏观平面生长时,也叫面内衍射,这些年随着测试技术的发展和仪器的精度越来越高,我们也可以实现对垂直于平面晶面进行表征。面内表征对于薄膜宽度方向的探究是非常重要的。



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x射线衍射分析( x-raydiffraction ,简称xrd ),是利用晶体形成的x射线衍射 ,对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。

仪器技术参数

小角衍小角可以达到0.4度,主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度,可以接收到小于10度的衍射峰。

(1 )测量精度:角度重现性+0.0001° ;测角仪半径***200mm ,测角圆直径可连续变

(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°c;

(3)大输出: 3kw ;稳定性: +0.01% ;管电压: 20~ 60kv(1kv/1step) ;管电流: 10~ 60ma。

送样要求

固体粉末:均均干燥,粒度小于70um (过200目) , 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面,xrd摇摆曲线检测实验室,尺寸约为20mmx 10mmx 2mm

应用领域

物相分析,可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析,通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。




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矿石xrd物相分析 矿石成分检测

矿石成分在线检测技术取消了人工取样、制样、化验等环节,实时对矿石进行分析并将结果发送至控制系统,具有矿石成分代表性强、实时---、减少取样人员、降低生产成本等特点,可以及时调整配矿方案,提高生产效率。目前矿石成分在线检测的主流技术有中子活化技术(prompt gamma-ray neutron activation ---ysis,简称pgnaa)和近红外光谱分析技术(near infra-red technology,简称nir)。

每种元素对中子活化过程的反应不尽相同,这表现在两个方面。一方面是一些元素的活化性比另一些元素要高,例如铁、硫和氯非常活跃;而碳和氧的惰性---。各元素间的另一个关键不同点在于每种元素会出(具有已知概率)的一组γ 射线能量。例如,氯元素会出能量不同的γ 射线,有名的是4.42 和6.42 mev。通过特定仪器来检测特征γ 射线的能量可辨别物料中元素的种类,通过检测特定能量γ 射线的数量可辨别该元素的百分含量。





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