吉林xrd掠入射(gixrd)检测-半导体xrd薄膜测试

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

密封式管

这是常使用的x射线管，吉林xrd掠入射（gixrd）检测，它的靶和灯丝密封在高真空的壳体内。壳体上有对x射线“透明”的x射线出射“窗孔”。靶和灯丝不能更换，如果需要使用另一种靶，就需要换用另一只相应靶材的管子。这种管子使用方便，但若灯丝烧断后它的寿命也就完全终结了。密封式x射线管的寿命一般为1000—2000小时，它的报废往往并不是与因灯丝损坏，而是由于靶面被熔毁或因受到钨蒸气及管内受热部分金属的污染，致使发射的x射线谱线“不纯”而被废用。

可拆式管

这种x射线管在动真空下工作，配有真空系统，使用时需抽真空使管内真空度达到10－5毫帕或---的真空度。不同元素的靶可以随时更换，灯丝损坏后也可以更换，这种管的寿命可以说是的。

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相干散射

物质对x射线散射的实质是物质中的电子与光子的相互作用。当入射光子碰撞电子后，若电子能牢固地保持在原来位置上（原子对电子的束缚力很强），则光子将产生刚性碰撞，xrd掠入射（gixrd）检测费用多少，其作用效果是辐射出电磁波——散射波。这种散射波的波长和频率与入射波完全相同，新的散射波之间将可以发生相互干涉——相干散射。x射线的衍射现象正是基于相干散射之上的。

 x射线管

衍射用的x射线管实际上都属于热电子二极管，有密封式和转靶式两种。前者大功率不超过2.5kw，视靶材料的不同而异；后者是为获得高强度的x射线而设计的，一般功率在10kw以上。

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