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xrd倒易空间（rsm）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

样品成分的限定

样品元素限定是缩小检索范围的有效手段。因此，我们在进行x射线衍射物相分析之前应当先做样品的元素分析，只有这样，才能准确并且正确地检索出样品中的全部物相。

成分限定的要点是：

(1) 只选样品中的主要元素。

(2) 选择4个元素。当样品成分比较复杂，含有元素种类较多时，优先选择量多的元素，并且每次只选择不多于4个元素，否则，检索范围过大，会影响检索结果。

(3) 尝试非金属元素c，h，xrd倒易空间（rsm）检测实验室，o。有时，样品会发生吸潮、氧化、腐蚀，在按已知元素检索不出物相时，要考虑样品是否发生这种反应。

(4) 尝试不同的元素组合。由于衍射谱受固溶、择尤取向等影响，导致衍射峰位偏离正常位置或者峰强不匹配，在很多情况下，xrd倒易空间（rsm）检测平台，会有一些物相检索不出来，应当试探特定元素组合的存在。

当样品中元素种类太多时，检索结果可能不准确。因此，应当反复检索几次，并对比几次的检索结果，然后才作出终的结论。

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通常称为晶块尺寸或晶粒尺寸。计算晶块尺寸时，一般采用低角度的衍射线。但是，如果晶块尺寸较大，可用较高衍射角的衍射线。

使用谢乐公式计算晶粒尺寸时，若晶粒尺寸在30nm左右，计算结果较为准确。此公式适用范围为size<100nm。判断一个样品是否存在晶粒细化的依据是：衍射峰宽化与衍射角的余弦成反比。

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