xrd物相分析检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
1、简介
x射线测试技术广泛用于各种薄膜材料的表征。薄膜材料不同于普通的粉末xrd表征,存在一定的---和薄膜的特性。例如,当薄膜具有---的择优取向时,只有特定晶面的衍射能被观察到,这也是为什么薄膜的测试表征比普通粉末表征难的原因。本文将综述x射线衍射技术用于薄膜的测试。
2、为什么薄膜材料要使用x射线来表征?
2.1、x射线分析的特点
随着---薄膜材料制备技术的发展,xrd物相分析检测报告,用于表征薄膜材料的分析技术的水平和内容变得复杂和多样化。这其中x射线用于表征薄膜的技术有很大的发展。
利用x射线来表征材料有很长的历史。在对材料的晶体结构进行测试方面,x射线衍射技术是非常成功的。和电子束衍射相比,x射线衍射方法有以下特点:
l 非破坏性的,并且无需---的制样方法。
l 能够在特殊环境和常规环境下进行测试,例如高温高压下测试。
l 能够获得材料的平均结构信息,测试范围较广从nm级到cm级都可以表征。
l 对有机材料的破坏性也较低。
l 通过控制x射线的角度能够改变分析的材料的---。
l 可以表征埋层材料的界面结构。
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运用高速---视觉处理技术自动检测pcb板上各种不同贴装错误及焊接缺陷。pcb板的范围可从细间距高密度板到低密度大尺寸板,并可提供在线检测方案,福建xrd物相分析检测,以提高生产效率,及焊接。通过使用aoi作为减少缺陷的工具,在装配工艺过程的早期查找和消除错误,以实现---的过程控制。早期发现缺陷将避免将坏板送到随后的装配阶段,aoi将减少修理成本将避免报废不可修理的电路板。
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正如上面提到的,我们利用x射线衍射可以获得大量的关于薄膜的信息。在平常的测试中,我们获得的粉末衍射信号来自于平行于宏观平面的晶面信息。当我们测试薄膜时,必须要注意晶面的取向情况,这时候需要调整x射线在样品的入射和反射的方向。
在通常的测试中一般是对称反射光路测试,但在有---取向的薄膜例如外延生长的薄膜时候,对称衍射并不合适。这时候我们就需要调整样品表面的倾斜来获得需要测试的晶面,我们称为非对称衍射。
有一种更为特殊的情况,当我们的晶面垂直于样品宏观平面生长时,也叫面内衍射,这些年随着测试技术的发展和仪器的精度越来越高,我们也可以实现对垂直于平面晶面进行表征。面内表征对于薄膜宽度方向的探究是非常重要的。
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