xrd薄膜检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,xrd薄膜检测,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
xrd图谱中某个衍射峰的峰高、峰宽和峰面积分别表示什么
首先要区别是什么物质的xrd图谱,比如单晶、多晶(粉末)等.
峰高:对多晶来说,峰高由同方向排列的晶面分布数量(texture)决定,即:若所有晶粒为同方向排列,则此时各个晶面的峰高要大于无规律排列的晶粒. 而同一图谱中不同峰高则是由每个峰对应的晶面数量决定.
另外,如果样品不为纯晶体,xrd薄膜检测费用多少,而同时存在非晶体的情况下,不同xrd图像同一位置角度对应的 峰高不同则反映了晶体成分的多少. 晶体化程度越高,相应的峰越高.
峰宽:一般分析多的数值是fwhm(半峰全宽). 峰宽受很多因素影响:从仪器角度说,因素为所用x射线的波长分布,即使是单色x射线也不完全只有确定波长; 从多晶样品角度说,fwhm和晶粒大小成反比,xrd薄膜检测多少钱,即,晶粒直径越小对应的fwhm越大, 具体计算可以参考scherrer equation.
峰面积:也称为integral intensity. 这个值同样不是由某单一值决定,和样品本身相关的量有:该峰对应晶面的数量,晶胞体积,晶粒体积,structure factor等.
以上只是粗略说明,具体情况还是需要具体分析.
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电子衍射和 xrd的区别
电子衍射是二维衍射和 xrd 是一维衍射,电子衍射和xrd的基本原理和衍射花样的几何特征相似,而且都遵循劳厄方程或布拉格方程。两者区别包括:
(1) 电子波的波长短,则受物质散射强(原子对电子的散射能比 x 射线强一万倍);
(2) 电子衍射强度大,要考虑它们之间的相互作用,使电子衍射花样分析,---是强度分析变得复杂,不能像 x射线一样从测量强度来广泛地测定晶体结构;
(3) 由于电子衍射强度高导---子穿透能力有限,山东xrd薄膜检测,因此较使用于研究微晶、表面和薄膜晶体;
(4) 当晶粒大小只有几微米,甚至几千埃的时候,不建议用 xrd 。
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无i---检索就是对图谱不作任何处理、不规定检索卡片库、也不作元素限定、检索对象选择为主相(s/m focus on major phases)。
这种方法一般可检测出样品中的主要的物相。在对样品无任何已知信息的情况下可试着检索出样品中的主要物相,进而通过检索出来的主要物相了解样品中元素的组成。另外,在考虑样品受到污染、反应不完全的情况可试探样品中是否存在未知的元素。但是,这种方法不可能检索出全部物相,并且检索结果可能与实际存在的物相偏差较大,需要其它实验作进一步证实。
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