大功率xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
首先,我们必须强调的是xrd做含量分析非常不准,如果非要说检出限是多少主要是由什么决定的,大功率xrd检测多少钱,那就是由仪器的功率和管电流决定的,如果要表征元素的含量---化学方法测或者原子吸收来做。
另外,xrd的检测限是不能简单的用%来表示的,这和被检测物质的分散度有很大关系,也就是结晶度,与物质种类也有很大关系,样品的吸收系数大,检出限会高很多。如果非要确定出一个检出限,一般说是5%左右。但是,不同的物相,对x射线的吸收不同,则检出限会有较大出入。如单质硅,一般在1%左右可以检出,而另一些相,西藏自治大功率xrd检测,可能10%都难于检出。当然。在样品相同的情况下,使用较高的衍射功率,使用较长的扫描时间效果会---。不过,如果要延长扫描时间,如果延长一两倍是见不到效果的。
经验表明,如果使用常规的扫描速度能看到某种存在的迹象,那么,大功率xrd检测费用多少,再采用1度/min或更慢的速度来扫描。如果使用常规扫描速度---都看不到痕迹,就没有---再费力了。进行半定量分析确实是很不准确,而且结果确实与晶粒大小相关。晶粒小的析出相,连检出都困难,更别说做定量分析了。晶粒小的物相会使其rir值增大,曾做过ceo2的rir值,在不同的温度下的产物,其rir值相差10倍。
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xrd结晶度的测量方法:
1、纯样法,即把测定的物质的绕射硬度和该性质的百分之i一百的晶态试样(或者百分之i一百非晶态样品,原理相同)比较,可以得出该试样的结晶度。
以公式的形式表示则是:xc=ic/i0。
注意:xc为待测样品的结晶度,ic为待测样品的全部衍射峰的积分强度,i0为100%晶态的积分强度
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一般来说,在强度表示中,有3个主要的问题:
(1) 通过寻峰操作得到的峰高和面积数据有时---确,但是,若衍射谱中存在重叠峰则会使计算值偏高。
(2) 拟合面积较为准确,可解决重叠峰的问题,但拟合峰高一般有偏差。
(3) 当物相的晶粒度不同时,用峰高还是用面积来表示强度并不等价,它们受衍射峰宽度的影响。
实际操作中,通常分别使用4种强度数据进行计算,再将计算结果作平均,可得到较为理想的结果。但是,如果重叠峰---多时,可只选用拟合数据,而当样品中无重叠时,使用寻峰数据计算反而会。
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