半导体xrd薄膜测试-半导体xrd检测机构

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    2023-7-21

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半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,半导体xrd检测服务,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

xrd图谱中某个衍射峰的峰高、峰宽和峰面积分别表示什么


首先要区别是什么物质的xrd图谱,比如单晶、多晶(粉末)等.

峰高:对多晶来说,峰高由同方向排列的晶面分布数量(texture)决定,即:若所有晶粒为同方向排列,则此时各个晶面的峰高要大于无规律排列的晶粒. 而同一图谱中不同峰高则是由每个峰对应的晶面数量决定.

另外,如果样品不为纯晶体,而同时存在非晶体的情况下,半导体xrd检测机构,不同xrd图像同一位置角度对应的 峰高不同则反映了晶体成分的多少. 晶体化程度越高,相应的峰越高.

峰宽:一般分析多的数值是fwhm(半峰全宽). 峰宽受很多因素影响:从仪器角度说,因素为所用x射线的波长分布,即使是单色x射线也不完全只有确定波长; 从多晶样品角度说,fwhm和晶粒大小成反比,即,晶粒直径越小对应的fwhm越大, 具体计算可以参考scherrer equation.

峰面积:也称为integral intensity. 这个值同样不是由某单一值决定,和样品本身相关的量有:该峰对应晶面的数量,晶胞体积,晶粒体积,structure factor等.

以上只是粗略说明,具体情况还是需要具体分析.




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x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

定速连续扫描粉末衍射仪的一种工作方式(扫描方式),常用。试样和接收狭缝以角速度比1:2的关系匀速转动。在转动过程中,检测器连续地测量x射线的散射强度,各晶面的衍射线依次被接收。计算机控制的衍射仪多数采用步进电机来驱动测角仪转动,因此实际上转动并不是严格连续的,而是一步一步地(每步0.0025°)跳跃式转动,在转动速度较慢时尤为明显。但是检测器及测量系统是连续工作的。连续扫描的优点是工作效率较高。例如以2θ每分钟转动4°的速度扫描,扫描范围从20~80°的衍射图15分钟即可完成,而且也有---的分辨率、灵敏度和度,因而对大量的日常工作(一般是物相鉴定工作)是非常合适的。但在使用长图记录仪记录时,甘肃半导体xrd检测,记录图会受到计数率表rc的影响,须适当地选择时间常数。

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一般人认为,通过x射线衍射方法就能了解样品中存在某些元素,其实这是一个误解。x射线衍射是一种结构分析手段,而不是元素分析手段,有很多物相虽然结构上也存在微小的差别,但是x射线衍射物相分析并不能真正区分它们。x射线衍射物相分析的目的应当是在已知样品元素组成的情况下检测这些元素的赋存状态。

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