半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
x射线衍射仪(xrd)相关术语解释
步进扫描粉末衍射仪的一种工作方式(扫描方式)。试样每转动一步(固定的δθ)就停下来,测量记录系统开始测量该位置上的衍射强度。强度的测量也有两种方式:定时计数方式和定数计时方式。然后试样再转过一步,半导体xrd检测多少钱,再进行强度测量。如此一步步进行下去,完成角度范围内衍射图的扫描。
用记录仪记录衍射图时,采用步进扫描方式的优点是不受计数率表rc的影响,没有滞后及rc的平滑效应,分辨率不受rc影响;尤其它在衍射线强度极弱或背底---时---有用,半导体xrd检测费用多少,在两者共存时更是如此。因为采用步进扫描时,可以在每个θ角处作较长时间的计数测量,以得到较大的每步总计数,从而可减小计数统计起伏的影响。
步进扫描一般耗费时间较多,因而须认真考虑其参数。选择步进宽度时需考虑两个因素:一是所用接收狭缝宽度,步进宽度至少不应大于狭缝宽度所对应的角度;二是所测衍射线线形的尖锐程度,步进宽度过大则会降低分辨率甚至掩盖衍射线剖面的细节。为此,步进宽度不应大于尖锐峰的半高度宽的1/2。但是,也不宜使步进宽度过小。步进时间即每步停留的测量时间,若长一些,可减小计数统计误差,提高准确度与灵敏度,但将损失工作效率。
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不同晶粒度的同一物相,rir值相差很大
rir值实际上与物相的很多结构因素有关。晶粒大小是影响rir值的关键因素。如果被测物相是纳米晶粒,半导体xrd检测,也按正常的rir值进行分数计算,则计算结果可能会与实际值相差很大。一般来说,晶粒越小,衍射峰高越低,则实际rir值越小,有时只有pdf卡片上的rir值的1/10。影响rir值的另一个因素是粉末的研磨程度。研磨越久,天津半导体xrd检测,rir值会越小。
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转靶式管
这种管采用一种特殊的运动结构以---增强靶面的冷却,即所谓旋转阳极x射线管,是目前实用的高强度x射线发生装置。管子的阳极设计成圆柱体形,柱面作为靶面,阳极需要用水冷却。工作时阳极圆柱以高速旋转,这样靶面受电子束轰击的部位不再是一个点或一条线段而是被延展成阳极柱体上的一段柱面,使受热面积展开,从而有效地加强了热量的散发。所以,这种管的功率能远---过前两种管子。对于铜或钼靶管,密封式管的额定功率,目前只能达到2 kw左右,而转靶式管可达90 kw。
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