新疆维吾尔自治xrd倒易空间(rsm)检测-半导体xrd物相分析

xrd倒易空间（rsm）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，新疆维吾尔自治xrd倒易空间（rsm）检测，以及行业应用技术开发。

x射线衍射仪(xrd)相关术语解释

定速连续扫描粉末衍射仪的一种工作方式（扫描方式），xrd倒易空间（rsm）检测机构，常用。试样和接收狭缝以角速度比1:2的关系匀速转动。在转动过程中，检测器连续地测量x射线的散射强度，xrd倒易空间（rsm）检测费用多少，各晶面的衍射线依次被接收。计算机控制的衍射仪多数采用步进电机来驱动测角仪转动，因此实际上转动并不是严格连续的，而是一步一步地（每步0.0025°）跳跃式转动，在转动速度较慢时尤为明显。但是检测器及测量系统是连续工作的。连续扫描的优点是工作效率较高。例如以2θ每分钟转动4°的速度扫描，扫描范围从20～80°的衍射图15分钟即可完成，而且也有---的分辨率、灵敏度和度，因而对大量的日常工作（一般是物相鉴定工作）是非常合适的。但在使用长图记录仪记录时，记录图会受到计数率表rc的影响，须适当地选择时间常数。

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一般来说，在强度表示中，有3个主要的问题：

(1) 通过寻峰操作得到的峰高和面积数据有时---确，但是，若衍射谱中存在重叠峰则会使计算值偏高。

(2) 拟合面积较为准确，可解决重叠峰的问题，但拟合峰高一般有偏差。

(3) 当物相的晶粒度不同时，用峰高还是用面积来表示强度并不等价，它们受衍射峰宽度的影响。

实际操作中，通常分别使用4种强度数据进行计算，再将计算结果作平均，xrd倒易空间（rsm）检测，可得到较为理想的结果。但是，如果重叠峰---多时，可只选用拟合数据，而当样品中无重叠时，使用寻峰数据计算反而会。

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