xrd晶粒尺寸检测测试-半导体xrd测试机构

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    2023-8-20

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xrd晶粒尺寸检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

一般来说,江苏xrd晶粒尺寸检测,在强度表示中,有3个主要的问题:

(1) 通过寻峰操作得到的峰高和面积数据有时---确,但是,若衍射谱中存在重叠峰则会使计算值偏高。

(2) 拟合面积较为准确,可解决重叠峰的问题,但拟合峰高一般有偏差。

(3) 当物相的晶粒度不同时,用峰高还是用面积来表示强度并不等价,它们受衍射峰宽度的影响。

实际操作中,通常分别使用4种强度数据进行计算,再将计算结果作平均,可得到较为理想的结果。但是,如果重叠峰---多时,xrd晶粒尺寸检测分析,可只选用拟合数据,而当样品中无重叠时,使用寻峰数据计算反而会。


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x射线衍射仪的使用方法

(a)装填样品

按下衍射仪面板上的door按钮,指示灯闪烁、蜂鸣器发出报警声,xrd晶粒尺寸检测哪里可以做,缓慢的向右拉开衍射仪保护门。

将样品表面朝上安装到样品台上,此时注意尽可能的将样品置于载物台的中心位置。

向左轻拉右侧门,两门自动吸住后报警声停止。

(b)设置仪器参数

---桌面right measurement system图标,进入到软件控制界面

双击condition下面的1,进入到测量条件的设置界面,根据所测试样品要求,设置start angle(起始角)、stop angle(终止角)、scan speed(扫描速度)等参数(注意:一般扫描电压和扫描电流这些参数不要更改)

条件设置好以后,关闭条件设置界面,返回主界面(注意:在设置参数的时候,xrd的起始角一般是大于3°,终止角小于140°,否则会使测角仪的旋转臂撞到其他部件,使测角仪受到损坏。)

---browse按钮,进入到保存文件对话框,设置文件保存位置和样品名称后,返回主界面

(c)开始测试

在主界面上---executement,系统开始调整kv、ma值,此时弹出新的测量窗口,直到测量完成,xrd晶粒尺寸检测测试,测量数据自动保存在所设置为保存位置。

(d)数据存盘

一般为了防止u盘存在---,拷取实验数据需要光盘,下面是一个光盘流程

(e)关闭系统

在测试的时候根据实际情况,如果后面仍有学需要测试,在完成自己样品测试后,将自己的样品取出即可。如果没有人测试,则按照下面的流程来关闭x射线

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样品的结构精修是以某一结构为初始值进行修正的。具有步骤如下:

(1) 物相检索,对物相的“初始结构”。

(2) 扣背景和kα2、对图谱作平滑处理。

(3) 物相衍射峰的拟合。如果样品中存在几个物相,则全部衍射峰都要参与拟合。

(4) 选择菜单“opti-cell refinement”命令,开始精修。



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