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大功率xrd检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

可以看到激光退火制程后的半导体集成电路晶圆的x射线衍射成像。 激光退火后，自动化图形分析软件将衍射成像图中的缺陷制动识别出来，并将符合滑移线特征的缺陷用绿色标识出来。 然后可以按照klarf格式将各缺陷的坐标位置、尺寸、灰度等特征参数报告输出，并且提供给生产监控使用。 生产监控实例也发现，一旦衍射成像结果中滑移线的数量开始增加，晶圆的几率大幅增加

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衍射峰左右不对称是何原因?

衍射仪获得的衍射峰形(地说是衍射线的剖面，diffraction lineprofile)是不对称的， 尤其是在低角度区(2θ < 30°)表现更为明显。峰型不对称是由多方面的因素造成的，主要是衍射仪光路的几何因素、仪器的调整状况以 及样品的吸收性质等。

粉晶衍射不一定能出现所有的面网，很多物质的粉晶衍射都不一定出现(100)(110)，这 与结构有关。晶体衍射有个叫消光的现象，晶体的消光规律决定于它的结构的对称性，大功率xrd检测平台，不同的空间群 其消光规律不同。如果应该出现的衍射而没有出现，那就是样品的择优取向引起的。再者(100)面的角度比较低，有时是没有扫到或淹没在低角度的背景中了。